Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구

제목
Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구
저자
PAIKKYUN SHIN
학회명
2013 제45회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
디오션 리조트 (여수, 대한민국)
학회 개최일
2013-08-21 ~ 2013-08-23