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Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구
- 제목
- Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구
- 저자
- PAIKKYUN SHIN
- 학회명
- 2013 제45회 한국진공학회 하계정기학술대회
- 개최지
- 디오션 리조트 (여수, 대한민국)
- 학회 개최일
- 2013-08-21 ~ 2013-08-23