레이저를 이용한 마이크로렌즈 제조에 관한 연구

초록

레이저 방출법에 의해 제조되는 마이크로 렌즈는 그 제조방법의 평이함에 강점이 있다. 본 실험에서는 마스크상의 패턴을 이미징 렌즈를 이용하여 시편의 표면에 축소 투영하는 방법과 KrF 엑사이머 레이저를 사용하여 레이저 리소그라피 공정을 사용하였다. 연구결과 PMMA를 이용하였을 경우 2000 Pulse, 280mJ/cm일 때 어블레이션이 깨끗하게 일어나고 형상이 좀 더 정확히 나타났다. 그리고 다중원형 마스크의 회절과 간섭에 의한 방법과 이미지 축소투영 방식을 적용하여 3차원 형상의 마이크로 렌즈를 제조할 수 있었다.