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Nc-Si:H 박막 증착시 박막 두께 및 기판 AC-bias 인가에 의한 구조적 기계적 화학적 특성 분석

  • CHO NAMHEE
제목
Nc-Si:H 박막 증착시 박막 두께 및 기판 AC-bias 인가에 의한 구조적 기계적 화학적 특성 분석
저자
CHO NAMHEE
학회명
2012년 제2회 한국광전자학회 학술대회
학회 개최일
2012-11-15 ~ 2012-11-16

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