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감광성 폴리이미드의 광학적 특성 분석
A study for the optical property in the photodefinable polyimide
초록
한국광학회 12회 정기총회 및 2001년도 동계학술발표회 논문집, pp. 162-163 (2001. 2. 15~16). *** 서울 한양대학교, "" 막 자체가 감광성을 가지고 있는 폴리이미드를 사용하여 단순한 photolithography 공정만으로 보다 안정적이고 제작과정이 쉬운 광도파로 소자를 제작하고자 하였다. 또한 감광성 폴리이미드를 사용하여 광도파로 소자를 제작할 때 재현성 있는 공정조건의 확립을 목적으로 softbake, hardbake 온도와 시간 및 자외선 노광량에 따른 광학적 특성 변화를 측정하였고, 또한 hardbake 시간에 따른 박막의 두께변화를 측정하였다.
- 제목
- 감광성 폴리이미드의 광학적 특성 분석
- 제목 (타언어)
- A study for the optical property in the photodefinable polyimide
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- 한국광학회 12회 정기총회 및 2001년도 동계학술발표회 논문집