ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

기판재료에 따른 CVD Cu막의 성장특성 비교

  • CHONGMU LEE
제목
기판재료에 따른 CVD Cu막의 성장특성 비교
저자
CHONGMU LEE
학회명
1994년도 한국진공학회 춘계 학술발표대회 논문집

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.