광송수신기 모듈용 전치 증폭기를 위한 GaAs/AlGaAs HBT 제작 및 특성

Fabrication and Characterizations of GaAs/AlGaAs HBTs for Preamplifier of Optical T/R Module
  • WON TAEYOUNG

초록

광송수신기 모듈용 전치 증폭기를 위한 GaAs/AlGaAs HBT를 제작하였다. 베이스 기생성분을 줄이고, 항복전압 특성을 향상시키기 위하여 베이스 및 컬렉터 도우핑을 각각 2×10^19/cm^3과 5×10^16/cm^3으로 설계하였으며, 컬렉터 에피 두께는 0.8um로 제작하였다.

제목
광송수신기 모듈용 전치 증폭기를 위한 GaAs/AlGaAs HBT 제작 및 특성
제목 (타언어)
Fabrication and Characterizations of GaAs/AlGaAs HBTs for Preamplifier of Optical T/R Module
저자
WON TAEYOUNG
학회명
제2회 광전자공학 학술회의 논문