압전방법을 이용한 광학적 원격 제어 MEMS 액추에이터

초록

점점 전송 기술이 발달함에 따라, 고속/대용량의 광 연결 기술이 많이 응용되고 있다. 소자들 또한 이러한 광 신호를 받기에 적합한 형태가 필요하다. 따라서 본 논문에서는, 미리 설계한 광 신호로 동작하는 PZT 액추에이터의 동작 범위와 변위를 FEM 시뮬레이션(Finite Element Method Simulation)을 통해 해석해 보니 10V 전압에서 532nm의 변위를 확인할 수 있었고, 또한 열적, 기계적, 전기적 해석을 통하여 차후 제작에 감안할 점들을 찾아내는데 주안점을 두었다.