ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

엠보싱용 AWG 마스터 제작을 위한 Cl2 가스 기반의 실리콘 식각

Cl2 based Silicon Etching for Fabrication of AWG Master for embossing
  • LEE SEUNG GOL
제목
엠보싱용 AWG 마스터 제작을 위한 Cl2 가스 기반의 실리콘 식각
제목 (타언어)
Cl2 based Silicon Etching for Fabrication of AWG Master for embossing
저자
LEE SEUNG GOL
학회명
2007 하계광학회

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.