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마이크로파 열처리에 따른 비정질 SiC 박막 내 나노결정 생성 및 성장

  • CHO NAMHEE
제목
마이크로파 열처리에 따른 비정질 SiC 박막 내 나노결정 생성 및 성장
저자
CHO NAMHEE
학회명
2016년 한국세라믹학회 춘계학술대회
개최지
부산 BEXCO
학회 개최일
2016-04-20 ~ 2016-04-22

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