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초록
본 연구에서는 스퍼터 공정변수와 다결정 La0.7A0.3MnO3-d (A=Ca, Ba, Sr) 박막생성의 상관관계를 파악하여 우선 배향된 박막을 얻었다. CMR 효과제어의 중요인자인 박막의 조성, 증착후 열처리 조건에 따른 미세구조, 결정구조, 전기전도 특성 변화를 XRD, TEM, RBS, four point probe 법을 사용하여 고찰하였다.
- 제목
- 다결정 La0.7A0.3MnO3-d 박막의 성장, 결정구조 및 전기전도 특성
- 제목 (타언어)
- Growth, crystalline structure and electrical transport characteristics of polycrystalline La0.7A0.3MnO3-d thin films
- 저자
- CHO NAMHEE
- 학회명
- 2000년도 추계 한국 세라믹학회 연구발표집