Ag 박막을 이용한 디스플레이용 전도성 근적외선 차단 필터의 제작

초록

디스플레이에 사용할 수 있는 전도성 근적외선 차단 필터를 디자인하였다. 근적외선 영역의 낮은 투과율과 낮은 면저항을 갖는 필터를 제작하기 위해 [TiO2｜Ti｜Ag｜TiO2]의 기본구조를 반복하는 형태의 필터를 설계하고, 연속된 Ag 박막을 만들 수 있는 두께를 확인하였으며 이를 비대칭 구조로 설계, 제작하여 가시광영역의 무반사 대역을 넓히고, 낮은 면저항을 갖는 전도성 근적외선 차단필터를 제작하여 광학적, 구조적, 화학적 그리고, 전기적인 특성들을 연구하였다. 제작한 필터의 평균투과율은 가시광영역에서 61.1%이상이고 근적외선 영역에서 6.6%이하이다. 면저항과 방출도는 각각 0.9Ω/sq , 0.012 이다. 이는 유해한 전자기파와 근적외선을 효과적으로 차단할 수 있다.