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에칭용액의 IPA 함량에 따른 기공성 실리콘의 나노구조 특성 분석

  • CHO NAMHEE
제목
에칭용액의 IPA 함량에 따른 기공성 실리콘의 나노구조 특성 분석
저자
CHO NAMHEE
학회명
2013년 한국세라믹학회 추계연구발표회
개최지
제주국제컨벤션 센터(ICC Jeju)
학회 개최일
2013-10-16 ~ 2013-10-18

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