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초록
본 연구에서는 몬테카를로 방법을 사용하여, 차세대 반도체 소자 제작을 위한 핵심 단위 공정인 스퍼터 증착 공정 중 타겟 원자의 방출 분포 및 스퍼터율 분포를 계산하였다.
- 제목
- Cu 스퍼터 증착 공정 모델링 및 초고속 수치해석기 개발
- 제목 (타언어)
- Development of Sputter Yield Simulator with Monte Carlo Method
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 제6회 한국반도체학술대회
본 연구에서는 몬테카를로 방법을 사용하여, 차세대 반도체 소자 제작을 위한 핵심 단위 공정인 스퍼터 증착 공정 중 타겟 원자의 방출 분포 및 스퍼터율 분포를 계산하였다.