Copper formate의 레이저 유도 열 분해에 의한 Cu 박막의 제조

초록

Cu(HCOO)2.4H2O 막을 입힌 glass 기판 표면에 아르곤 이온 레이저빔을 조사하여 선택적으로 copper formate막을 열 분해하는 방법으로 Cu 박막 패턴을 형성하였다. 한편, 레이저 출력과 빔 주사속도에 대해 형성된 Cu 박막의 선폭과 막두께의 변화를 측정한 결과, 주어진 빔 주사속도에 대해 레이저 출력이 증가하면 박막의 두께는 점차 증가하다가 레이저광의 중심부분의 강한 에너지밀도로 인해 Cu 박막이 일부 증발하기 때문에 오히려 감소하였다. 또한 선폭은 레이저 출력이 증가할수록, 빔 주사속도가 느릴수록 증가하였다. 공기중에서 증착한 Cu 박막에 대해 AES 분석한 바, 순수한 Cu 박막이 형성된다는 것을 알 수 있었다.