고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 나노결정 (Er,Tb):Si 박막의 화학조성, 나노구조 및 광학적 특성

초록

본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 나노결정 (Er,Tb):Si 박막을 제조하였다. 공정 변수에 따른 박막의 화학조성 및 미세구조를 분석하였으며, 광학적 특성과의 상관관계를 고찰하였다.