Screen printing법에 의해 제조된 YIG후막의 소결거동 및 자기적 특성

초록

YIG (Yttrium Iron Garnet) 계 ferrite는 수 GHz의 주파수 범위에서 자기적 손실이 작은 재료로서 oscillator, isolator, circulator 등의 microwave용 소자에 널리 이용되고 있다. 본 연구에서는 MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)용 YIG 후막을 제조하기 위하여 경제적이며 두께 조절이 용이한 screen printing법으로 두께가 수십 ㎛정도의 다결정 YIG 후막을 제조하였고 그 특성을 검토하였다. Y2.8Ca0.2Fe4.8Zr0.2O12를 기본조성으로 선택하여 paste를 만들고, screen printing한 후 소결온도와 시간, 첨가제 등을 제어하여 포화자화가 높고 강자성 공명 흡수선폭이 좁은 YIG후막을 얻을 수 있었으며, printing 횟수를 조절하여 후막의 두께를 10-120㎛범위로 조절할 수 있었다. 본 연구결과는 circulator 및 isolator 등의 microwave소자에 응용 될 수 있을 것으로 기대된다.