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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ZnO 박막의 공정조건에 따른 압전특성

영문제목
  • YOON YUNG SUP
제목
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ZnO 박막의 공정조건에 따른 압전특성
제목 (타언어)
영문제목
저자
YOON YUNG SUP
학회명
제12회 한국반도체학술대회

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