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초발수 표면 제작을 위한 표면 조도에 따른 마스크리스 리소그래피 기반의 마이크로 패턴 제작에 대한 연구
A Study on the Fabrication of Micro Pattern based Maskless Lithography depend on Surface Roughness for Superhydrophobic Surface
- 제목
- 초발수 표면 제작을 위한 표면 조도에 따른 마스크리스 리소그래피 기반의 마이크로 패턴 제작에 대한 연구
- 제목 (타언어)
- A Study on the Fabrication of Micro Pattern based Maskless Lithography depend on Surface Roughness for Superhydrophobic Surface
- 저자
- 조명우
- 학회명
- 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회
- 개최지
- 제주도 라마다 호텔
- 학회 개최일
- 2014-05-14 ~ 2014-05-16