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DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

제목
DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성
저자
PAIKKYUN SHIN
학회명
2008년도 대한전기학회 하계학술대회
개최지
강원도 횡성 - 현대성우리조트
학회 개최일
2008-07-16 ~ 2008-07-18

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