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Study on Residual Stress Effects of a Diaphragm for Stainless Steel MEMS Devices
스테인레스 스틸 멤스 부품에서 멤브레인의 잔류응력 해석
- 제목
- Study on Residual Stress Effects of a Diaphragm for Stainless Steel MEMS Devices
- 제목 (타언어)
- 스테인레스 스틸 멤스 부품에서 멤브레인의 잔류응력 해석
- 저자
- CHANG SUNG PIL
- 학회명
- The 4th Korea-Sino Conference on Advanced Manufacturing Technology