최대 결합 효율을 위한 비균일 격자커플러의 최적 구조 계산

초록

본 연구에서는 일반적인 SOI(silicon-on-insulator) 기판을 이용하고 단일 리소그래피 공정으로 간단하게 제작할 수 있는 비균일 격자 커플러 구조에서 격자 파라미터를 최적화하여 커플링 효율을 최대화하는 계산 결과를 보고하고자 한다.