Ag 박막과 enhanced Ag 다층박막의 광학적 특성 연구

초록

RF Sputter를 이용하여 Ag 박막과 enhanced Ag 다층박막을 제작하고 광학적 특성을 조사하였다. Ag 단층 박막의 경우 부착력, 끊는물 시험 및 황화시험을 통해 내구성이 약한 것을 확인 할 수 있었다. 부착력의 증가를 위해 기판과 Ag 사이에 Cr를 증착하였으며, 내구성의 향상 및 반사율 증가를 위해 Ag 위에 유전체 다층박막을 증착하여 enhanced Ag 다층박막[air| (TiO2/SiO2)2|Ag|Cr|Si-Wafer]을 제작하였다. Enhanced Ag 다층박막은 450 ~ 650 nm에서 99%이상의 반사율을 보였으며, 황화시험에서도 우수한 박막이 제작되었음을 확인하였다.