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미세 홈 형성을 위한 마이크로 가공기술에 관한 연구
A Study on the Micro-machining Technique for Fabrication of Micro Grooves
초록
마이크로 가공기술은 전자 통신, 반도체, 컴퓨터 OA 기기, 초정밀 공작기계 분야의 한단계 진보를 위해서는 필수적으로 적용되어야 하는 분야이다. 실제로 이론적 해석에 의하여 미세 형상이나 치수가 거의 구현되어 있는 현 시점에서, 그 정밀가공이 난해하거나 불가능하여 더 이상의 이론적 개발이 이론적인 결과로서만 남게되는 현상은 실용화를 위하여, 본 연구에서는 마이크로 가공으로 진보시켜 미세 형상의 고능률 가공기술을 달성하였다.
- 제목
- 미세 홈 형성을 위한 마이크로 가공기술에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- A Study on the Micro-machining Technique for Fabrication of Micro Grooves
- 저자
- LEE EUN SANG
- 학회명
- 한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회논문집