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초록
PFC(PerFluoro Compounds)는 반도체 제조공정에서 증착반응기를 플라즈마 세척하기 위하여 또는 플라즈마 식각공정에서 대량으로 사용되고 있으며, 1996년에는 세계적으로 년간 약 백만톤 의 PFCs를 사용하였다..............
- 제목
- 반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발
- 제목 (타언어)
- Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas
- 저자
- DONG WHA PARK
- 학회명
- 화학공학의 이론과 응용