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초록
본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 nc-Si 및 Tb:Si 박막을 제조하였다. 다양한 공정변수에 따른 박막의 화학조성 및 나노구조를 분석하였으며, 광학적 특성과의 상관관계를 고찰하였다.
- 제목
- 공정변수에 따른 nc-Si 및 Tb:Si 박막의 구조적, 광학적 특성 변화
- 제목 (타언어)
- Variation of the nano-structural and optical features of nc-Si and Tb:Si films with various process parameters
- 저자
- CHO NAMHEE
- 학회명
- 2002 한국세라믹학회 (춘계총회 및 연구발표회)