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Polyphenylcarbosilane으로부터 제조한 SiOCH 박막의 저유전특성

  • KIM HYUNG SUN
제목
Polyphenylcarbosilane으로부터 제조한 SiOCH 박막의 저유전특성
저자
KIM HYUNG SUN
학회명
한국세라믹학회 춘계학술대회

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