광학소자 복제를 위한 ICP를 이용한 플라즈마 중합반응

Plasma Polymerization using ICP Reactors
  • LEE EL HANG
제목
광학소자 복제를 위한 ICP를 이용한 플라즈마 중합반응
제목 (타언어)
Plasma Polymerization using ICP Reactors
저자
LEE EL HANG
학회명
PHOTONICS CONFERENCE 2006