Silicic acid의 환원 열탄화법에 의한 베타 탄화규소 휘스커의 합성

초록

반응성이 우수한 Silicic acid를 고온에서 환원 탄화반응으로 베타 탄화규소 휘스커를 성장시켰으며, 이 과정에서 온도 및 분위기 등의 효과를 연구하였다. 베타 탄화규소 휘스커는 탄소기판 및 전기로 튜브의 안쪽 벽면에 성장되었으나 그 모양은 약간씩 다른 특징을 나타내었다. 온도가 증가함에 따라 휘스커의 생성은 촉진되어 20%CH4/80%H2의 분위기하에서 1480도, 2시간 반응시켰을 때 약 37%를 얻을 수 있었다. 분위기증 메탄의 함유량이 증가함에 따라 수율은 중가하였으며 질소의 함유량이 증가함에 따라서는 수율이 감소하였다. 그러나 휘스커 굵기의 균일성에 있어서는 질소가스의 첨가가 월등히 우수하였다.