Sol-Gel 공정에 의해 제조된 PZT 박막의 결정화 거동 및 미세구조 발달에 대한 종자(seed)영향

초록

다양한 전자산업에서의 응용이 기대되는 재료인 PZT 박막 제조에서 유전성을 저하 시키는 저온에서의 pyrochlore상 생성이 큰 문제점으로 남아 있다. 본 연구에서는 PZT박막의 결정상과 미세구조 발달을 제어하기 위한 새로운 방법으로 "Seed Crystal"을 핵생성 조제로 사용하여 perovskite상 생성온도를 낮추고 미세구조를 조절하려는 것이 목적이다. perovskite seed로 0.2㎛ 이하의 크기를 갖는 PZT와 BaTiO3를 준비하여 제조된 PZT sol에 분산시켰다. 특히, 한번 coating으로 0.5㎛의 두께를 얻을 수 있도록 1,3-propandiol을 용매로 사용하여 PZT sol을 제조하였다. 이와 같이 준비된 seeded PZT sol을 Si기판 위에 spin coating 법으로 피복시키고 열처리하여 unseeded PZT박막과 seeded PZT박막의 결정화 거동을 DTA, XRD, Raman & IR분광법으로 연구하였다.