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초록
최근 평판디스플레이, 태양광전지 등의 반도체관련 산업에서 플라즈마 에칭용 가스로 삼불화질소의 사용이 증가되고 있으며 그에 따라 폐가스로 방출되는 양도 증가하고 있다. 삼불화질소는 온난화지수(GWP100)가 17200로 반드시 처리가 필요한 온난화 가스로 본 연구에서는 새로운 아크플라즈마 형태인 로테이팅 아크플라즈마를 이용하여 삼불화질소 분해 실험을 수행했다...................
- 제목
- 로테이팅 아크플라즈마에 의한 삼불화질소 분해
- 저자
- DONG WHA PARK
- 학회명
- 한국화학공학회 2009년도 가을 총회 및 학술대회
- 개최지
- 일산 KINTEX
- 학회 개최일
- 2009-10-21 ~ 2009-10-23