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플라즈마 반응로에서 산소 기체의 균일한 흐름을 위한 유동해석

  • PARK SEGEUN
제목
플라즈마 반응로에서 산소 기체의 균일한 흐름을 위한 유동해석
저자
PARK SEGEUN
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 2013년 춘계학술대회 및 제1회 SiC 전력반도체 심포지움
개최지
서울
학회 개최일
2013-05-31 ~ 2013-05-31

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