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질화알루미늄 제조를 위한 플라즈마 CVD 공정 개발

Development of plasma CVD process for preparation of Aluminum Nitride

DONG WHA PARK

초록

질화알루미늄 초미립자를 합성하기 위한 열플라즈마공정을 개발하였다. 적정한 반응계를 선정하기 위하여 다양한 반응계에 대하여 열역학적 화학평형조성 계산을 수행하였다. ................

제목: 질화알루미늄 제조를 위한 플라즈마 CVD 공정 개발

제목 (타언어): Development of plasma CVD process for preparation of Aluminum Nitride

저자: DONG WHA PARK

학회명: ISRC 연구결과 요약집