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Ti와 SiO2상에서의 MOCVD Cu의 성장

  • CHONGMU LEE
제목
Ti와 SiO2상에서의 MOCVD Cu의 성장
저자
CHONGMU LEE
학회명
1994년도 한국진공학회 춘계 학술발표대회 논문집

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