Nanotube-tip 개발을 위한 nanomaipulator의 제작

초록

높은 종횡비를 갖는 미세구조의 형상 측정을 위하여 기존의 AFM tip 에 nanotube 를 붙여서 사용하는 방법이 제시도어왔다. 이러한 nanotube-tip 제작 방법으로서 광학 현미경을 이용하는 것은 현미경의 공간 분해능 한계로 인해 AFM tip첨단과 nanotube가 명확히 식별되지 않아서 제작 성공률이지극히 낮다. 또한,SEM으로 관찰하며 제작하는 방법도 제시되었으나 사용된 manipulator의 자유도가 적어서 역시 정확한 부착이어려워 보인다. 본연구에서는 자유도 및 dynamic range가 튼 manipulator 를 제작, SEM내부에 장착함으로써, 정확한 Nanotube-tip의 제작성공률을 높이고 nanotube의 성능시험까지가능하도록 하고자 한다. 본 발표에서는 이러한 nano manipulator의 제작 및 성능을 소개하고자 한다.