Ticl4를 이용한 TiO2 전기증착 및 물성 연구

초록

산업 발전과 함께 대기 중에 존재하는 유기화합물들로 인한 환경오염이 심해짐에 따라 금속산화물을 광촉매로 사용하여 환경 친화적으로 처리하고자 하는 연구가 중요시되고 있다. 특히 산화 티타늄을 이용한 방법은 환경적인 면과 경제적인 면 모 두 장점을 가지고 있기 때문에 많은 연구가 이루어지고 있다. 얇고 고르게 산화 티 타늄을 코팅할수록 그에 따른 활성이 좋기 때문에 다양한 공정을 이용한 코팅이 이 루어지고 실제로 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 cathodic electrodeposition을 이용하여 산화 티타늄 박막을 만들고 chloride ion양에 따른 물성 및 광촉 매적 활성을 비교 분석하였다. 산화 티타늄의 전구체로써 TiCl4를 사용하였으며, 물과 과산화수소를 이용하여 peroxo complex를 가지도록 하였다. 이 후 chloride ion을 제거하기 위해 pH를 조절하여 상 조절을 해주고 -0.9V ~ -1.2V의 전 위로 증착을 시도하였다. 증착 후 열처리를 통해 TiO2 박막을 만들고 물성 분석을 위하여 XRD, XPS, SEM을 사용하였다. 또한, 합성된 산화 티타늄의 광촉매적 활 성을 평가하기 위하여 UV-Vis을 이용하여 비교 분석하였다.