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포토레지스트를 이용한 광 비아 구조의 제작
Fabrication of Optical Via Structures Using Photoresist Reflow Process
- 제목
- 포토레지스트를 이용한 광 비아 구조의 제작
- 제목 (타언어)
- Fabrication of Optical Via Structures Using Photoresist Reflow Process
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- Photonics Conference 2006