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초록
AlGaAs/GaAs 에피 구조와 제조 공정에 사용될 마스크를 설계 및 제작하여, 이를 이용하여 다양한 크기의 HBT를 제작하였다. 제작될 소자의 특성에 영향을 미치는 공정에 대해서는 단위공정 을 수행하여 발생될 수 있는 문제접들을 사전에 제거하고, 안정된 공정 조건을 확립하도록 하였다.
- 제목
- AlGaAs/GaAs HBT의 제작 특성에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- Characteristics of Fabricated AlGaAs/GaAs HBT
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 한국전기전자재료학회 추계학술대회 논문집