프라즈마 이온 보조 증착한 TiO2와 MgF2 박막의 열처리에 의한 광학적 물리적 특성 연구

초록

보트나 전자총을 이용한 물리적 증기 증착법으로 증착된 박막은 증착 입자의 에너지가 0.01~0.1 정도로 매우 작기 때문에 기판 위에서 증착 입자의 이동도가 낮아 자유롭게 이동하지 못하고 빈 공간 포함하는 다공성의 기둥 미세구조를 형성한다. 이러한 기둥 미세구조의 영향으로 덩어리 물질에 비해 박막의 조밀도는 낮아지게 되고 굴절률이 작아진다. 또한 수분, 열 등에 의해 부착력이 감소되고, 균열의 원인이 되어 외부 환경에 대한 내구성을 약화시켜 수명이 단축되는 결과 등을 초래한다. 따라서 온도와 수분 등의 환경 변화에 대한 광학적, 기계적 특성의 안정화와 내구성이 강한 광학 박막의 증착을 위해 증착 중 기판을 가열하는 방법과 이온빔 등을 이용한 보조 증착법등이 사용되고 있다.