광 삼각측량법을 위한 높이 측정 알고리즘 비교

초록

시료 표면에서 반사된 레이저 광속의 결상 위치로부터 물체 표면의 변위를 결정하는 광 삼각측량법의 측정 정밀도를 향상하기 위해 결상면(imaging plane)에서 획득된 레이저 광속의 Light Intensity Distribution (LID) 곡선의 정점을 찾아내는 여러 가지 알고리즘을 제안하여 상호 비교하였다. 이를 통해 마이크로미터 단위의 변의 측정 정밀도를 확보할 수 있었다.