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12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 최적 가공 조건 선정에 관한 연구

제목
12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 최적 가공 조건 선정에 관한 연구
저자
LEE EUN SANG
학회명
한국기계가공학회 2012년 춘계학술대회
학회 개최일
2012-06-28 ~ 2012-06-29

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