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AFM을 이용한 PMMA 패터닝
Poly-MethylMethAcrylate (PMMA) mask patterning by atomic force microscope (AFM) lithography
- 제목
- AFM을 이용한 PMMA 패터닝
- 제목 (타언어)
- Poly-MethylMethAcrylate (PMMA) mask patterning by atomic force microscope (AFM) lithography
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- Photonics Conference 2007