미세광학벤치를 이용한 열 가변 필터의 패키징

초록

파장 가변 필터는 최근 급속히 성장하며 표준화가 되고 있는 Wavelength-division-multiplexing (WDM) 시스템에 핵심적인 소자로 적용될 수 있다. 필터는 페브리-페롯 공진현상을 이용한다. MEMS 공정 기술인 벌크 마이크로머시닝을 이용하여 필터의 가격 경쟁력을 높이고, 광학 필터로서 좋은 특성을 구현 하며, 높은 가변 특성을 얻을수 있다[1]. 이러한 페브리-페롯 파장 가변 필터는 Optical-performance monitoring, Spectrometer, Optical noise filter등 여러 분야에 응용될 수 있다. 최근 여러 형태의 파장 가변 필터가 연구되고 소개 되고 있으나 대부분의 방법은 구현하는데 있어 공정상 어려움이 있거나 파장 가변 효율이 낮다는 문제점을 가지고 있다[2]. 이에 본 논문은 비교적 쉬운 박막 증착 방법으로 필터를 구현하고, 파장 가변 시키기 위해 열광학 효과를 이용한 필터를 디자인 하고 제작 한 후, 온도의 변화에 따른 필터의 투과 특성을 분석해 보았다. 투과 특성은 온도 가변 시스템과 온도를 측정하기 위한 센서를 포함하고 있는 광학 시스템을 구현 하여 측정 하였다. 그리고 정밀한 정렬 및 필터가 실질적인 소자로서 응용하기 위해 실리콘 미세광학벤치를 이용하여 필터, 구면 볼렌즈, 광섬유룰 각각 V-goove 및 micro-pits에 위치 시켜 패키징 시킨다