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Developing window glass for plasma processing chamber using rare-earth element containing glass

희토류 첨가 유리를 이용한 플라즈마 공정 챔버용 윈도우 글래스 개발

KIM HYUNG SUN

제목: Developing window glass for plasma processing chamber using rare-earth element containing glass

제목 (타언어): 희토류 첨가 유리를 이용한 플라즈마 공정 챔버용 윈도우 글래스 개발

저자: KIM HYUNG SUN

학회명: 한국반도체 디스플레이 기술학회 2011년 춘계학술대회

개최지: 서울대학교 엔지니어하우스

학회 개최일: 2011-06-02