ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

반도체 장비의 미세진동제어를 위한 MR댐퍼의 설계

  • CHOISEUNG BOK
제목
반도체 장비의 미세진동제어를 위한 MR댐퍼의 설계
저자
CHOISEUNG BOK
학회명
2012년 한국정밀공학회 춘계학술대회
개최지
제주 라마다호텔
학회 개최일
2012-05-30 ~ 2012-06-01

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.