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ZnO 성장을 위한 Atomic layer deposition 법에서 공정온도가 박막의 구조적 광학적 특성에 미치는 영향

Effects on substrate temperaure onthe microstructure and photoluminescence properies of ZnO thin films by atomic layer deposition
  • CHONGMU LEE
제목
ZnO 성장을 위한 Atomic layer deposition 법에서 공정온도가 박막의 구조적 광학적 특성에 미치는 영향
제목 (타언어)
Effects on substrate temperaure onthe microstructure and photoluminescence properies of ZnO thin films by atomic layer deposition
저자
CHONGMU LEE
학회명
2005년 한국재료학회

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