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RF 마그테트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막제조 및 특성분석

제목
RF 마그테트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막제조 및 특성분석
저자
SANG SUB KIM
학회명
2003년 한국재료학회 춘계학술회의

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