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초록
본 연구에서는 이온보조 반응이온 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 광학코팅에서 고굴절률로 사용되는 비정질 박막을 증착하여 구조적, 광학적특성 변화를 알아 보았다. 이온보조 마그네크론 스퍼터링에서 Ar 이온빔 전류를 변화 시켰으며, 증착된 TiO2 박막은 대기분위기에서C 까지 어닐링시켰다.
- 제목
- 이온보조 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착되는 TiO2 박막에 대한 Ar 이온빔 전류와 어닐링에 따른 구조적, 광학적 특성 변화
- 제목 (타언어)
- 영문제목
- 저자
- CHANG KWON HWANGBO
- 학회명
- 한국물리학회 2003년도 가을 학술논문발표회