실리콘 광 송수신 모듈 용 MEMS 광 스위치의 제작

Fabrication of a MEMS Optical Switch for a Silicon Optical Transceiver Module
제목
실리콘 광 송수신 모듈 용 MEMS 광 스위치의 제작
제목 (타언어)
Fabrication of a MEMS Optical Switch for a Silicon Optical Transceiver Module
저자
O BEOM HOAN
학회명
Photonics Conference 2002