글라이딩 아크에 의한 과불화합물 분해

초록

본 연구에서는 글라이딩 아크를 이용하여 반도체산업 폐가스인 과불화합물(PFC: CF4,NF3,SF6) 가스분해 실험을 수행하였다. 글라이딩 아크 플라즈마는 많은 양의 대기오염물질을 상대적으로 적은 에너지를 소모하여 처리할 수 있다.............