온도변화에 따른 간섭필터의 중심파장 이동의 전산모의

초록

DWDM 필터와 같은 간섭필터는 밴드폭이 좁아지고 투과파장에 해당하는 채널의 수가 증가함에 따라 투과파장의 외부환경에 대한 안정성이 중요하다. 기존의 전자빔 증착법으로 증착된 유전체 다층박막은 일반적으로 미세기둥구조로 인해 낮은 조밀도를 가지기 때문에 외부의 습도나 온도 변화 등에 민감하다. 낮은 조밀도의 유전체 다층박막을 대기 중에 노출되었을 때, 대기 중의 습기가 기둥과 기둥 사이로 침투되어 유효굴절률의 증가로 인하여 박막의 광학두께가 증가하게 되고 결국 스펙트럼이 장파장으로 이동하게 된다. 이러한 박막의 낮은 조밀도는 이온보조증착(IAD), 이온빔 스퍼터링(IBS), 플라즈마 이온보조증착(PIAD)과 같은 높은 에너지를 갖는 이온들을 이용하여 향상시킬 수 있으며. 외부 습도에 의한 투과파장의 이동을 방지할 수 있다. 최근에는 조밀도가 1에 가깝게 제작된 다층박막의 온도 안정성에 대한 연구가 진행되고 있다.